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數(shù)字勻膠機(jī)技術(shù)文章
數(shù)字勻膠機(jī) 自動勻膠機(jī) 型號：TJ1200
產(chǎn)品特點：
數(shù)字勻膠機(jī)是用于半導(dǎo)體，集成電路及激光全息商標(biāo)制造過程中，在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進(jìn)行涂布光刻（感光）膠的專用設(shè)備。本機(jī)的工作原理是利用旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力，將滴于基片上多余的光刻（感光）膠液甩去，在光刻（感光）膠表面張力和離心力的共同作用下，展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點，勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào)，電器電路具有穩(wěn)定性，結(jié)構(gòu)合理，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示，直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
【備 注】：
數(shù)字勻膠機(jī)TJ1200的主要技術(shù)參數(shù)見下表：
項目參數(shù)
工作電壓380V／220V
整機(jī)功率1200W
勻膠時間控制范圍0.01-99.99秒;0.01-99.99分
轉(zhuǎn)速0—8000RPM
裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制)φ35—75mm
勻膠工位(可根據(jù)用戶要求定制)1—4工位
外形尺寸長×寬×高 850×810×1600mm
凈重120kg
注：用戶有何特殊要求可協(xié)商。
